重压之下中国自研光刻机核心技术获重大突破!-AET-电子 ...

2023年5月17日 · 近日,我国EUV光刻机研发取得重大突破。 近年来在西方技术封锁下,先进半导体关键制造设备EUV光刻机被限制出口至中国大陆。 而面对西方的不断打压,我国科研人员潜心研发, 终于成功研制出EUV重要部件——光源工程化样机,为我国突破“卡脖子”技术做出 ...

2024年5月18日 · 长期以来高端光刻机机一直被“卡脖子”,而今中国科学院上海光学精密机械研究所在极紫外光源方面的突破,为中国打破芯片僵局,实现科技自立提供了实力的保障。

2019年12月31日 · 武汉光电国家研究中心成功研制出一台9nm光刻机,该光刻机使用远场光学,雕刻最小线宽为9nm的线段,实现了从超分辨率成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。. 丨膜链 · 势银旗下媒体平台丨. 来源:膜链. 撰文:Lucem ; 编辑:melody. 12月24日,中国自主开发的 ...

2022年2月13日 · 今年2月7号,上海微电子制造的中国首台封装光刻机已经完成线下交付了,这就意味着中国在芯片、后道、设备上取得了新的突破了,以后西方就没办法在先进的封装设备上去卡中国脖子了。 当然这一台国产光刻机跟我们常常讲了 EVU光刻机、DUV光刻机是不一样的概念的。 这种叫封装光刻机,它主要是用于封装工艺的,而我们说的EVU和DUV光刻机它是用于芯 …

2022年1月26日 · 光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”,是集成电路制造行业的核心设备。. 根据2020年国民经济和社会发展统计公报,2020年中国集成电路产量为2614.7亿块,较2019年同比增长29.6%,2016-2020年年均复合增速为18.7%,中国已成为全球规模最大、增速最快的集成电路 …

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