据媒体报道,上海微电子装备(集团)股份有限公司创新技术,在之前90nm的基础上,宣布在2021年至2022年交付国产第一台28nm的immersion式光刻机,虽然与当前主流荷兰的7nm芯片制备工艺还有大的差距,但也标志着国产光刻机的飞跃进步,在逐渐减少与...