图(a)MEMS碟形谐振陀螺仪从设计空间映射到完整的陀螺仪结构拓扑的步骤;图(b)算法探索到的典型拓扑;图(c)创新性拓扑设计范式,其中FBi为弹性梁结构、DWi为双翼式结构、SSi为步进阶梯式结构;图(d)弹性梁FB1与传统结构应力改善分析;图(e)双翼结构DW1和阶梯式结构SS1与传统...