2023年2月25日 · 日前，光刻机市场有两个新的动向，一个是哈尔滨工业大学公布了一项“高速超精密激光干涉仪”研发成果，并获得了首届“金燧奖”中国光电仪器品牌榜金奖，被一些人宣称解决了7nm以下的光刻机难题。. 一个是国内某公司开发了SAQP技术，可以做到不需要EUV ...
2024年4月17日 · 近日，我国科技界传来振奋人心的消息，首台国产5纳米光刻机成功问世，标志着我国在半导体制造领域取得了重大技术突破。. 这一里程碑式的成果不仅彰显了我国科技实力的飞速提升，也为国家半导体产业的自主发展奠定了坚实基础。. 中国首台国产5纳米光刻 ...
2023年5月17日 · 近日，我国EUV光刻机研发取得重大突破。 近年来在西方技术封锁下，先进半导体关键制造设备EUV光刻机被限制出口至中国大陆。 而面对西方的不断打压，我国科研人员潜心研发， 终于成功研制出EUV重要部件——光源工程化样机，为我国突破“卡脖子”技术做出 ...
2024年5月18日 · 长期以来高端光刻机机一直被“卡脖子”，而今中国科学院上海光学精密机械研究所在极紫外光源方面的突破，为中国打破芯片僵局，实现科技自立提供了实力的保障。
2019年12月31日 · 武汉光电国家研究中心成功研制出一台9nm光刻机，该光刻机使用远场光学，雕刻最小线宽为9nm的线段，实现了从超分辨率成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。. 丨膜链 · 势银旗下媒体平台丨. 来源：膜链. 撰文：Lucem ； 编辑：melody. 12月24日，中国自主开发的 ...
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