2024年5月18日 · 长期以来高端光刻机机一直被“卡脖子”，而今中国科学院上海光学精密机械研究所在极紫外光源方面的突破，为中国打破芯片僵局，实现科技自立提供了实力的保障。
2019年12月31日 · 武汉光电国家研究中心成功研制出一台9nm光刻机，该光刻机使用远场光学，雕刻最小线宽为9nm的线段，实现了从超分辨率成像到超衍射极限光刻制造的重大创新。. 丨膜链 · 势银旗下媒体平台丨. 来源：膜链. 撰文：Lucem ； 编辑：melody. 12月24日，中国自主开发的 ...
2022年2月13日 · 今年2月7号，上海微电子制造的中国首台封装光刻机已经完成线下交付了，这就意味着中国在芯片、后道、设备上取得了新的突破了，以后西方就没办法在先进的封装设备上去卡中国脖子了。 当然这一台国产光刻机跟我们常常讲了 EVU光刻机、DUV光刻机是不一样的概念的。 这种叫封装光刻机，它主要是用于封装工艺的，而我们说的EVU和DUV光刻机它是用于芯 …
2022年1月26日 · 光刻机被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”，是集成电路制造行业的核心设备。. 根据2020年国民经济和社会发展统计公报，2020年中国集成电路产量为2614.7亿块，较2019年同比增长29.6%，2016-2020年年均复合增速为18.7%，中国已成为全球规模最大、增速最快的集成电路 …
2024年5月11日 · 光刻机减振器突破者陈学东院士透露“成功秘诀”. “正是有了无数个一丝不苟的攻关，才促成了我国首台IC光刻机的问世。. ”5月10日，华中科技 ...
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